MT-VSP841  MT-VSP842 Serie Analogica Trasduttore Passivo Pirani per la misura Pressione Assoluta da 1000…100 a 1×10-3mbar (hPa) – da 750…75 a 5 x10-4Torr

MT-VSP841 e MT-VSP 842 sono sensori Pirani a mezzo Ponte di Wheatstone, o semplicemente a termocoppia con resistenza prefissata e compensati termicamente. Opera in un campo di misura da pressione atmosferica fino al vuoto fine, anche se inizia effettivamente a funzionare al di sotto di 100 mbar. Il tipo di costruzione semplice conferisce robustezza, compattezza e convenienza economica da essere ampiamente utilizzato dai costruttori di macchine che necessitano di una misura di complemento al sistema. La compensazione termica è prefissata ed ottimizzata, affinché la misura sia straordinariamente stabile nel tempo e garantisca ottima accuratezza anche in ripetuti rientri d’aria.  I segnali in uscita sono Analogici su scala logaritmica. Il sensore è pretarato e si può collegare facilmente al lettore MT-VD84

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Descrizione
Caratteristiche Tecniche
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Codici di ordinazione

Applicazioni Tipiche

 

  • Tecnologia, spettrometria, fisica e ricerca scientifica
  • Processi di Coating, Sputtering e deposizioni
  • Ingegneria di processo ed industria tecnologica
  • Misura e controllo in un campo ampio di vuoto fine ed ultravuoto
  • Processi di alto ed ultravuoto
  • Metallurgia avanzata

 

Vantaggi

  • Sensori combinati in una sola testa per ampliare la misura
  • Il funzionamento brevettato del Pirani è del tipo pulsato, in modo da incrementarne la durata di entrambi i sensori
  • Il campo esteso del Pirani consente l’accensione monitorata e sicura del sensore a Catodo Freddo Penning in modo da incrementarne la durata e l’affidabilità
  • Elevata accuratezza e riproducibilità costante della lettura
  • Sensore robusto per condizioni gravose e bruschi rientri aria
  • Bassa interferenza termica ed elettrica nei processi sotto vuoto
  • Eccellente accensione senza problemi
  • Insensibile ai rientri bruschi d’aria
  • Taratura digitale dello zero e dell’atmosfera
  • Uscite digitali RS485 e segnali di uscita analogici 1.819-8.6 V oppure EtherCAT
  • Trasmissione dati al secondo da 9,6 kBd a 115 kBd (Baud rate detection) anche a lunghe distanze
  • Versione DL con display retroilluminato visibile a distanza
  • Due relè indipendenti di potenza
  • Lettura corretta della pressione grazie ai fattori di correzione separati per il Pirani e per il Catodo Freddo a seconda del tipo di gas
  • Connessioni Pneurop DN 16 KF, Conflat DN 16 CF
  • Collegabile al MT-VD12 e MT-VD10

 

      Caratteristiche Tecniche

Principio Operativo

Filamento Pirani a conducibilità ad impulsi

Catodo Freddo Penning a Magnetron inverso

Entrambi a misura dipendente dal tipo di gas

 

Materiali a contatto col vuoto

Inox 1.4307, tungsteno, nichel, vetro, molibdeno, ceramica

Campo di misura

1000 - 5x10-9mbar (750 - 5x10-9Torr), massima sovrappressione 4 Bar assoluti

 

Accuratezza

1000 - 10 mbar                   < 30% della lettura

10 - 5x10-3mbar                 < 10% della lettura

2x10-3 - 1x10-8 mbar          < 25% della lettura 

Ripetibilità

10 - 1x10-2mbar                 + 2% della lettura

2x10-3 - 1x10-8 mbar          + 7% della lettura 

Tempo di Risposta

200 ms, 1000 ms attivando il Catodo Freddo

Temperatura di lavoro

+5 <> + 60°C

Conservazione in magazzino

-40 <> + 65°C

Massimo riscaldamento e degasaggi

160°C alla flangia

Alimentazione

20 <> 30 VDC 

Consumo

Max 3 W + 0,8W per EtherCAT-Relè-LCD

Massimo riscaldamento degasaggi

160°C alla flangia (con elettronica staccata)

Collegamento Elettrico

Sub-D, 15 poli, maschio a chiusura

Collegamento al vuoto

Flangia Pneurop Inox DN 25 KF (MT-VSM77D-DL) Flangia Conflat Inox DN 40 CF (MT-VSM79D-DL)

Segnali di uscita

0-10 VDC, campo di misura 1.819-8.6 VDC, logaritmico, 0,6V/decade

Classe di protezione

IP40     (IP54 EtherCAT)

Peso

Circa 555g

Voltaggio Catodo

Massimo 2500 V

Interfaccia Seriale

RS485: 9,6 kBd a 115 kBd baud, 1 - 16

Interuttori di intervento

2relè di scambio, 50VAC 2A, 30VDC 2A,max60VA

Per accedere alla Scheda Tecnica è necessario richiedere l'autorizzazione, compilando il form qui sotto:

MT-VSM77D

Testa combinata Pirani/Penning, 1000 – 5×10 -9 mbar, flangia Pneurop DN 25 KF; Uscite 2.0-8.6V logaritmiche, RS485

MT-VSM77DL

Come il precedente, con Display

MT-VSM79D

Testa combinata Pirani/Penning, 1000 – 5×10 -9 mbar, flangia Conflat DN 40 CF; Uscite 2.0-8.6V logaritmiche, RS485

MT-VSM79DL

Come il precedente, con Display

Accessori:

MT-SLKUSB

Interfaccia RS485-USB 6-poli

MT-W1500002

Cavo schermato con terminali aperti 2 m

MT-W1515002

Cavo schermato di misura, 2m (per MT-VD12   MT-VD10)

MT-W1515006

Cavo schermato di misura, 6m

MT-W1515020

Cavo schermato di misura, 20m

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