MT-VSH87  MT-VSH88  MT-VSH89  Serie SmartlineTM  testa combinata Pirani – Bayard Alpert da 1000 a 5×10-10mbar (hPa) – da 750 a 5×10-10 Torr

La testa combinata Pirani/Catodo caldo (MT-VSH87 DN25KF) (MT-VSH88 DN40KF) (MT-VSH89 DN40CF) misura la pressione assoluta da pressione atmosferica fino all’ultravuoto per 14 decadi.

Un microprocessore controlla automaticamente il cambio di lettura dei due sensori integrati all’interno della testa Smartline, interagendo in modo appropriato sia durante la lettura che nell’uso dei segnali. Questi sensori rappresentano l’ultima generazione tecnologica del settore garantendo sicurezza, qualità e precisione a costi contenuti. Versione DL con display incorporato nella testa di misura. Versione E con Ether CAT

 

 

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Applicazioni Tipiche 

  • Tecnologia delle Analisi superficiali, spettrometria, fisica e ricerca scientifica
  • Processi di Coating, Sputtering e deposizioni
  • Ingegneria di processo ed industria tecnologica
  • Misura e controllo in un campo ampio di vuoto pulito ed ultravuoto
  • Processi di alto ed ultravuoto
  • Metallurgia avanzata e simulazione spaziale

Vantaggi

  • Sensori combinati in una sola testa per ampliare la misura
  • Il funzionamento brevettato del Pirani è del tipo pulsato, in modo da incrementarne la durata di entrambi i sensori
  • Il campo esteso del Pirani consente l’accensione monitorata e sicura del sensore a Catodo Caldo Bayard-Alpert in modo da incrementarne la durata e l’affidabilità
  • Bayard-Alpert a doppio filamento depositato Yttrio robusto per bruschi rientri aria, in caso di rottura automaticamente bypassa il ciclo di misura
  • Eccellente ripetibilità ed elevata accuratezza
  • Basso consumo energetico
  • Due relè indipendenti di potenza
  • Taratura digitale dello zero e dell’atmosfera
  • Uscite digitali RS485 e segnali di uscita analogici 1.219-8.6 V oppure EtherCAT
  • Trasmissione dati al secondo da 9,6 kBd a 115 kBd (Baud rate detection) anche a lunghe distanze
  • Versione DL con display retroilluminato visibile a distanza
  • Cella completamente inox con tenuta metallica e schermo protettivo
  • Lettura corretta della pressione grazie ai fattori di correzione separati per il Pirani e per il Catodo Caldo a seconda del tipo di gas
  • Collegabile al MT-VD12 e MT-VD14

     

Caratteristiche Tecniche

Principio Operativo

Filamento Pirani a conducibilità ad impulsi.

Bayard Alpert Ionizzazione.

Entrambi a misura dipendente dal tipo di gas

Materiali in contatto col vuoto

Inox 1.4307 Nichel, Tungsteno, Platino Iridio ricoperto yttrio, vetro, ceramica

Campo di misura

1000 - 1x10-10mbar (750 - 1x10-10Torr), massima sovrappressione 4 Bar assoluti

Accuratezza

1000 - 10 mbar                   < 30% della lettura

10 - 1x10-8mbar                 < 10% della lettura 

Ripetibilità

10 - 1x10-2mbar                 + 2% della lettura

1x10-2 - 1x10-8 mbar          + 5% della lettura 

Tempo di Risposta

200 ms, 2000 ms per corrente di emissione BA

Temperatura di lavoro

+5 <> + 60°C

Conservazione in magazzino

-40 <> + 65°C

Alimentazione

19 <> 30 VDC 

Consumo

Circa 6,5 W (senza l’uso dei set point)

Massimo riscaldamento degassaggi

180°C alla flangia (con elettronica staccata)

Degassaggio sensore

Riscaldamento Ohmico dell’anodo

Corrente di Emissione

Ciclo automatico 10 µA, 100 µA, 1mA, 2mA

Collegamento Elettrico

Sub-D, 15 poli, maschio a chiusura

Collegamento al vuoto

Flangia Pneurop Inox DN 40 KF (MT-VSH88 D-DL)

Flangia Conflat Inox DN 40 CF (MT-VSH89D-DL)

Segnali di uscita

0-10VDC, campo di misura 1.219-8.6 VDC, logaritmico, 0,6V/decade

Classe di protezione

IP40     (IP54 EtherCAT)

Peso

Circa 555g

Interfaccia Seriale

RS485: 9,6 kBd a 115 kBd baud, 1 - 16

Interuttori di intervento

2relè di scambio, 50VAC 2A, 30VDC 2A,max60VA

 

 

  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  

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Codici di ordinazione

MT-SVH87D

Testa combinata Pirani/Bayard Alpert, 1000 to 1x10 -10 mbar, flangia Pneurop DN 25 KF; Uscite 1.22-8.6V logaritmiche, RS485

MT-SVH87DL

Come il precedente, con Display

MT-SVH87E

Come il precedente con EtherCAT

 

MT-SVH88D

Testa combinata Pirani/Bayard Alpert, 1000 to 1x10 -10 mbar, flangia Pneurop DN 40 KF; Uscite 1.22-8.6V logaritmiche, RS485

MT-SVH88DL

Come il precedente, con Display

 MT-SVH88E

Come il precedente con EtherCAT

 

MT-SVH89D

Testa combinata Pirani/Bayard Alpert, 1000 to 1x10 -10 mbar, flangia Conflat DN 40 CF; Uscite 1.22-8.6V logaritmiche, RS485

MT-SVH89DL

Come il precedente, con Display

MT-SVH89E

Come il precedente con EtherCAT

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