MT-VSM77 MT-VSM79 Serie SmartlineTM testa di misura combinata Pirani – Penning per Pressione Assoluta da 1000 a 5×10-9mbar (hPa) – da 750 a 5×10-9Torr

La testa combinata MT-VSM77  MT-VSM79 (Pirani/catodo freddo) misura la pressione assoluta da pressione atmosferica fino all’ultravuoto per 13 decadi.

Un microprocessore controlla automaticamente il cambio di lettura dei due sensori integrati all’interno della testa Smartline, interagendo in modo appropriato sia durante la lettura che nell’uso dei segnali. Questi sensori rappresentano l’ultima generazione tecnologica del settore garantendo sicurezza, qualità e precisione a costi contenuti. Versione DL con display incorporato nella testa di misura.

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Applicazioni Tipiche

  • Tecnologia, spettrometria, fisica e ricerca scientifica
  • Processi di Coating, Sputtering e deposizioni
  • Ingegneria di processo ed industria tecnologica
  • Misura e controllo in un campo ampio di vuoto fine ed ultravuoto
  • Processi di alto ed ultravuoto
  • Metallurgia avanzata

Vantaggi

  • Sensori combinati in una sola testa per ampliare la misura
  • Il funzionamento brevettato del Pirani è del tipo pulsato, in modo da incrementarne la durata di entrambi i sensori
  • Il campo esteso del Pirani consente l’accensione monitorata e sicura del sensore a Catodo Freddo Penning in modo da incrementarne la durata e l’affidabilità
  • Elevata accuratezza e riproducibilità costante della lettura
  • Sensore robusto per condizioni gravose e bruschi rientri aria
  • Bassa interferenza termica ed elettrica nei processi sotto vuoto
  • Eccellente accensione senza problemi
  • Insensibile ai rientri bruschi d’aria
  • Taratura digitale dello zero e dell’atmosfera
  • Uscite digitali RS485 e segnali di uscita analogici 1.819-8.6 V oppure EtherCAT
  • Trasmissione dati al secondo da 9,6 kBd a 115 kBd (Baud rate detection) anche a lunghe distanze
  • Versione DL con display retroilluminato visibile a distanza
  • Due relè indipendenti di potenza
  • Lettura corretta della pressione grazie ai fattori di correzione separati per il Pirani e per il Catodo Freddo a seconda del tipo di gas
  • Connessioni Pneurop DN 16 KF, Conflat DN 16 CF
  • Collegabile al MT-VD12 e MT-VD14

 

     

Caratteristiche Tecniche

Principio Operativo

Filamento Pirani a conducibilità ad impulsi

Catodo Freddo Penning a Magnetron inverso

Entrambi a misura dipendente dal tipo di gas

Materiali a contatto col vuoto

Inox 1.4307, tungsteno, nichel, vetro, molibdeno, ceramica

Campo di misura

1000 - 5x10-9mbar (750 - 5x10-9Torr), massima sovrappressione 4 Bar assoluti

Accuratezza

1000 - 10 mbar                   < 30% della lettura

10 - 5x10-3mbar                 < 10% della lettura

2x10-3 - 1x10-8 mbar          < 25% della lettura 

Ripetibilità

10 - 1x10-2mbar                 + 2% della lettura

2x10-3 - 1x10-8 mbar          + 7% della lettura 

Tempo di Risposta

200 ms, 1000 ms attivando il Catodo Freddo

Temperatura di lavoro

+5 <> + 60°C

Conservazione in magazzino

-40 <> + 65°C

Massimo riscaldamento e degasaggi

160°C alla flangia

Alimentazione

20 <> 30 VDC 

Consumo

Max 3 W + 0,8W per EtherCAT-Relè-LCD

Massimo riscaldamento degasaggi

160°C alla flangia (con elettronica staccata)

Collegamento Elettrico

Sub-D, 15 poli, maschio a chiusura

Collegamento al vuoto

Flangia Pneurop Inox DN 25 KF (MT-VSM77D-DL) Flangia Conflat Inox DN 40 CF (MT-VSM79D-DL)

Segnali di uscita

0-10 VDC, campo di misura 1.819-8.6 VDC, logaritmico, 0,6V/decade

Classe di protezione

IP40     (IP54 EtherCAT)

Peso

Circa 555g

Voltaggio Catodo

Massimo 2500 V

Interfaccia Seriale

RS485: 9,6 kBd a 115 kBd baud, 1 - 16

Interuttori di intervento

2relè di scambio, 50VAC 2A, 30VDC 2A,max60VA

 

  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  

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Codici di ordinazione

 

MT-VSM77D

Testa combinata Pirani/Penning, 1000 – 5x10 -9 mbar, flangia Pneurop DN 25 KF; Uscite 2.0-8.6V logaritmiche, RS485

MT-VSM77DL

Come il precedente, con Display

MT-VSM77E

Come il precedente, Ether CAT

MT-VSM79D

Testa combinata Pirani/Penning, 1000 – 5x10 -9 mbar, flangia Conflat DN 40 CF; Uscite 2.0-8.6V logaritmiche, RS485

MT-VSM79DL

Come il precedente, con Display

MT-VSM79E

Come il precedente, Ether CAT

Accessori:

MT-SLKUSB

Interfaccia RS485-USB 6-poli

MT-W1500002

Cavo schermato con terminali aperti 2 m

MT-W1515002

Cavo schermato di misura, 2m (per MT-VD12   MT-VD14)

MT-W1515006

Cavo schermato di misura, 6m

MT-W1515020

Cavo schermato di misura, 20m

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